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真空泵的选择选用真空泵时,需要注意下列事项:真空泵的工作压强应该满足真空设备的限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-310-7mmHg,在如此宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在那个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。
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罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有的高真空性能,同时在中真空范围也有的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯一兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。
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真空系统还要结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等。要满足这些要求,要从真空泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。同时,这些基本要求,经常是相互联系的。
顾名思义,即把低温面及挡板组装在封闭循环制冷机系统中,与制冷机组合为一体的低温泵。特点:便于抽气系统实现自动化控制;可实现较高的抽速,S≥100m3/s理论限压强:4.2K温度下,除He、H2、Ne外,各种气体的pS都很小,对大多数气体来说,限压强获得10-9Pa是很容易的。获得超高真空需要考虑因素如下:影响限压强的因素材料的饱和蒸汽压材料的选择与处理烘烤、Ar离子放电清洗部分真空泵的主要特点及比较:不同类型真空泵应用范畴:螺杆真空泵与爪形真空泵的特点对比:共同点:同为干式真空泵,具备干式真空泵的共同优点;对被抽系统,可获得洁净真空泵腔内无油,容易实现对溶剂的回收;结构紧凑,占地面积小。单泵即可达到30Pa~5Pa的限压力,工作范围较宽;因工作过程中无废油、废水的排放,对环境;对冷却水的要求较低,对于泵的冷却,普通的循环水即可满足要求,且冷却水量较小,根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组,可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。