广州水喷射真空机组生产厂家
范围内对的活性气体都有很高的抽气能力锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体；优点:结构简单、体积小、造价低，操作，维修方便，清洁无油，对活性气体，尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点:不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的，其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与锆铝吸气剂长期在高温下工作，会出现“饱和”，吸气率下降；甚至吸气剂表面形成氧化膜，失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时，就需要进行再处理:在℃，使吸气剂表面的固体氧化膜分解，使金属和气体的产物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复多次(~20次)，直到的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。
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旋片式真空机组是以泵为主泵，以旋片真空机组为前级泵的串联而成的。旋片式真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片式真空机组在使用时一定压力下的抽气速率低的缺点，并且同时保留了罗茨泵能迅速的工作，优点有比较大抽气速率等。
在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以取代。而长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。
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干式螺杆真空泵由于其的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制、精密加工等行业首选真空获得设备。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，少数用皮带或者传动链传动。