永州水喷射真空机组厂家
复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合；涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压强；在复合分子泵的设计中，处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。
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范围内对的活性气体都有很高的抽气能力锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体；优点:结构简单、体积小、造价低，操作，维修方便，清洁无油，对活性气体，尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点:不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的，其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与锆铝吸气剂长期在高温下工作，会出现“饱和”，吸气率下降；甚至吸气剂表面形成氧化膜，失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时，就需要进行再处理:在℃，使吸气剂表面的固体氧化膜分解，使金属和气体的产物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复多次(~20次)，直到的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。
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油扩散泵的大出口压强取决于一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及一级喷嘴的结构有关。减少返油的措施返油源于以下四个方面凝结于顶喷嘴表面的油膜蒸发，占总返油量的70%左右；泵壁上凝结油膜的蒸发，与泵壁的冷却状况有关；蒸汽射流碰壁后的散射，与射流强度有关；蒸汽射流中油分子向高真空侧的扩散，与射流温度有关，在顶喷嘴上加挡油帽，可大幅减少顶喷嘴表面油膜的蒸发返油量，且对泵的抽速影响不大——现代扩散泵的标配；
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体，这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。