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将加热源和升华源两部分独立，利用钛球壳内的钨丝加热，利用辐射加热空心钛球，使之升华,加热均匀，储钛量大；但是加热丝固定困难，易烧断;锆铝吸气泵的结构与工作原理:泵芯是锆铝合金(84%:16%)粉末涂敷在金属吸气带上做成的，主要成分为Zr5Al3和Zr3Al2。合金结构是铝进入锆晶格，产生很多孔穴，增加锆的吸气面积，提高扩散速率180℃以下以表面吸附为主，180℃以上以体内扩散为主350~450℃
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控制加热交流接触器不复位:修复或更换。封口不平、不紧或不封口:钢盒变形，调整钢盒加热时间与加热温度未调好，调整至合适。加热布上有附着物:用指甲轻轻刮去附着物。加压电磁阀不动作:清洗或更换电磁阀。气囊破损:更换气囊。加压气管破损:修理或更换。不放气:冷却时间继电器坏(电器箱内)更换时间继电器。放气阀线路断路:查找并接好。放气阀粘住或烧坏:拆下清洗或更换。一边加热，一边不加热:不加热一边的包装袋压条与加热装置短路(一般与铜焊片短路)调整铜焊片位置，或休整包装袋袋压条。泵转不抽真空:工作室未盖严，将工作室盖严。电机反转:(注意不要换地线，花线为地线)保险断(指示灯亮):更换相同规格保险。合盖不工作:没有电源，查看有无电源。行程开关未动作:调整行程开关拨片。频繁烧保险:有短路处，查找并排除。电机反转时间过长:任意两相电源线调换安装(地线除外)。
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罗茨真空泵工作原理:如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体，这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。