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罗茨真空泵工作原理:如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
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例如，设备的真空度标为0.098MPa，实际上是-0.098MPa。抽气量抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m³/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解，理论下抽一个相同体积的容器，为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度，而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器不可能做到对不漏气，而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素。所以，大气量的很容易抽到理想真空度值。
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复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合；涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压强；在复合分子泵的设计中，处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体，这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。