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将加热源和升华源两部分独立,利用钛球壳内的钨丝加热,利用辐射加热空心钛球,使之升华,加热均匀,储钛量大;但是加热丝固定困难,易烧断;锆铝吸气泵的结构与工作原理:泵芯是锆铝合金(84%:16%)粉末涂敷在金属吸气带上做成的,主要成分为Zr5Al3和Zr3Al2。合金结构是铝进入锆晶格,产生很多孔穴,增加锆的吸气面积,提高扩散速率180℃以下以表面吸附为主,180℃以上以体内扩散为主350~450℃
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爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;因爪形真空泵为多级串联结构,排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体;
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干式螺杆真空泵由于其的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制、精密加工等行业首选真空获得设备。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似,一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用联轴器与转子连接,少数用皮带或者传动链传动。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。