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例如，设备的真空度标为0.098MPa，实际上是-0.098MPa。抽气量抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m³/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解，理论下抽一个相同体积的容器，为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度，而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器不可能做到对不漏气，而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素。所以，大气量的很容易抽到理想真空度值。
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在泵入口处加挡油环或者挡油阱，可以减少泵壁上凝结油膜的蒸发返油量TSP的工作原理与抽气性能:TSP的结构:吸气面、升华器、控制器工作过程:通电加热钛丝至1100℃直接升华，沉积到冷却的表面上，形成钛膜，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，抽除气体分子。吸附机理:比较复杂，通常认为是物理吸附和化学吸附的综合作用，以化学吸附为主。钛升华器的要求能提供所需的钛升华率；钛升华率易于调节，可连续或间断的提供吸气剂；钛升华器本身出气少或易于去气；有的工作寿命，即有的钛存储量低升华率和高升华率两种钛升华器小功率升华器:升华率每小时几十毫克，吸气剂量为几克到几十克的升华器，工作，结构简单，操作方便，主要作为辅助泵高升华率升华器:升华率每小时几克到几十克，作为主泵使用升华器的加热方式加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等类型
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不同点:因爪形真空泵为多级串联结构，每级泵均应严格控制端面间隙，即四级泵需严格控制8个端面间隙，泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障，另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性，一般人员很难达到装配要求；而螺杆真空泵仅需严格控制定位端的一个端面间隙，及转子间的先对间隙即可，对装配人员要求相对较低。设备运行更稳定，检修更方便。排气通道复杂，在抽除可凝性气体时（例如:水蒸汽，有机溶剂气体等），在泵腔内压缩时会产生较多的液体，这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大，四级爪形真空泵有8个端面，不宜抽除大量可凝性气体；
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体，这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。