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旋片式真空泵:如图为旋片泵的工作原理示意图。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片式真空泵限压力为0.05~1Pa。主要适合于高真空，洁净空气的工况工作原理与旋片式真空泵相似，但对泵腔没有磨擦，因此稳定性要好于旋片式真空泵
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爪形真空泵为多级串联结构，每级泵均应严格控制端面间隙，即四级泵需严格控制8个端面间隙，泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障，另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性，一般人员很难达到装配要求；因爪形真空泵为多级串联结构，排气通道复杂，在抽除可凝性气体时（例如:水蒸汽，有机溶剂气体等），在泵腔内压缩时会产生较多的液体，这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大，四级爪形真空泵有8个端面，不宜抽除大量可凝性气体；
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真空机组启动对原动机来讲属于轻载启动，对于某些大型机组来讲的话机组惯性大启动比较困难，不注意启动的方式会对电网或者电机都有损害。所以对于不同形式的泵起动特性要引起相应的重视。
假如真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。假如真空度要求在710mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。依照系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，关于真空泵，还要依照系统所需的气量来选用泵的型号。真空系统的抽气方程与有效抽速真空抽气系统的任务就是抽除被抽容器中的各种气体。真空系统的主要性能参数限真空度有效抽速真空系统的限真空度，指在没有外加负荷的情况下,经过长时间的抽气后,系统所能达到的压力。真空系统对容器的有效抽速，指在容器出口处的压力下,单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速,也取决于真空系统管路对气体的导通性能,即所说的流导。