北京水喷射真空机组定制厂家
按照国标:GB/T3163-97《真空技术名词术语》具体分类如下:动量传递式真空泵:利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体或气体分子,使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。分子泵:牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。分子真空泵(分子泵)是1913年德国人盖德(W.Gaede)发明的,之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象,也就是分子牵引力,所以称为牵引分子泵。
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锆铝吸气泵的工作条件压强低于10-3Pa时,抽活性气体的工作温度为400℃,体内扩散速率是金属表面维持的吸气速率而不能释放氢;10-3~1Pa范围内,抽活性气体工作温度为750℃——提高温度加速体内扩散,加速清洗吸气剂表面,对H2要求高抽速,工作温度为400℃对纯氢要求大抽速和大吸气量是,工作温度一般为200~300℃对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时,可室温工作高真空或者超高真空系统中,工作温度一般为400℃低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空间的压强大大降低,获得并维持真空状态的抽气装置,是一种储存式捕集抽气,气体并没有排出泵外,一旦冷凝表面温度发生变化,它抽走的气体又会重新释放,破坏真空。应用:外太空模拟;高能物理、等离子体研究;薄膜制备领域;微电子学,尤其是半导体微电子技术中——离子注入,离子刻蚀;现代表面分析仪器中。
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在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
为获得某一工作真空度所需的时间。这时间决定于真空系统抽速的大小,提高抽速可缩短这一时间。大的工作室如宇航模拟装置等,显然需要大的抽速。有时工作室虽然不大,但由于漏放气严重,则真空系统也需要大的抽速,否则大量的漏放气将大大降低真空度,使系统无法工作。