东莞环保型真空机组厂家地址
在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速,所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲,长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵,分子增压泵可以取代。而长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。
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在泵入口处加挡油环或者挡油阱,可以减少泵壁上凝结油膜的蒸发返油量TSP的工作原理与抽气性能:TSP的结构:吸气面、升华器、控制器工作过程:通电加热钛丝至1100℃直接升华,沉积到冷却的表面上,形成钛膜,与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN),抽除气体分子。吸附机理:比较复杂,通常认为是物理吸附和化学吸附的综合作用,以化学吸附为主。钛升华器的要求能提供所需的钛升华率;钛升华率易于调节,可连续或间断的提供吸气剂;钛升华器本身出气少或易于去气;有的工作寿命,即有的钛存储量低升华率和高升华率两种钛升华器小功率升华器:升华率每小时几十毫克,吸气剂量为几克到几十克的升华器,工作,结构简单,操作方便,主要作为辅助泵高升华率升华器:升华率每小时几克到几十克,作为主泵使用升华器的加热方式加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等类型
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罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有的高真空性能,同时在中真空范围也有的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯一兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。