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但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵,便可起到承上启下的作用,流量连续,而且各泵皆可工作在佳状态。罗茨泵能工作在中真空范围,是适合的,故又称罗茨增压泵,由于其压缩比不高,正好可连接几Pa至几百Pa的范围。当三级高真空机组进入较高的真空度时,由于主泵的排气流量明显减少,此时仅靠一台较小的前级泵便可维持抽气的连续性,在实际运用中这是经常采用的方法,这样可减少机组的能耗。高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间,因为随着压力降低泵的抽速在减小,是对于周期性抽气的真空机组,对达到工作真空度的时间是有要求的,预抽时间越长,进入工作真空度的时间也越长,故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合,可在较短的时间达到主泵可以工作的压力,这样可以使系统尽快地进入工作压力,了设备的使用效率。
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假如真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。假如真空度要求在710mmHg以上,可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。依照系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后,关于真空泵,还要依照系统所需的气量来选用泵的型号。真空系统的抽气方程与有效抽速真空抽气系统的任务就是抽除被抽容器中的各种气体。真空系统的主要性能参数限真空度有效抽速真空系统的限真空度,指在没有外加负荷的情况下,经过长时间的抽气后,系统所能达到的压力。真空系统对容器的有效抽速,指在容器出口处的压力下,单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速,也取决于真空系统管路对气体的导通性能,即所说的流导。
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不同点:因爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;而螺杆真空泵仅需严格控制定位端的一个端面间隙,及转子间的先对间隙即可,对装配人员要求相对较低。设备运行更稳定,检修更方便。排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体;
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。