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缺点:抽气效率低，能量损失大:扩散泵:以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏装置，油扩散泵有分馏装置不同真空度对于设备表:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环内界面之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
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真空包装将食品装入包装袋，抽出包装袋内的空气，达到预定真空度后，完成封口工序。真空充气包装将食品装入包装袋，抽出包装袋内的空气达到预定真空度后，再充入氮气或其它混合气体，然后完成封口工序。真空包装技术起源于20世纪40年代。1950年，聚酯、聚乙烯塑料薄膜[1]成功地用于真空包装，此后，真空包装便得到迅速发展。我国的真空包装技术是在上世纪80年代初期发展起来的，而真空充气包装技术在上世纪90年代初期开始少量使用，随着小包装的推广及超市的发展，其适用范围越来越广泛，有些将逐步替代硬包装，前景看好。
真空系统投入运行前要确认其分离器的水位大于规定值， 其工作液温度小于规定值；而且无真空泵跳闸信号。同时凝结水 系统（凝结水泵启动且运行正常）和循环水系统已经投入；而且 机组的轴封系统也已经投入，否则汽轮机内无法形成真空。
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在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以取代。而长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。