陇南环保型真空机组定制厂家
水喷射泵是用水作为工作介质,通过高速射流来引射被抽气体,使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的限压强为3.3kPa,两级串联可获得好一些的真空度,主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用,也可作为其他真空泵的前级。真空泵按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵,喷射泵特点:结构简单、工作稳定可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体抽气量大,应用广泛:冶金、化工、食品制造等领域:
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半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间,是指稀薄的气体状态,又可分为高真空、高真空、中真空和低真空,分类如下表所示:真空一般是用特制的抽气机获得,它的气体稀薄程度用真空计测定,现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的高真空。真空技术在芯片制造,太阳能电池片制造,光学膜制造、电真空仪器,电子管和其他电子仪器方面均有广泛应用。普通真空泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空;
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真空系统还要结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等。要满足这些要求,要从真空泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。同时,这些基本要求,经常是相互联系的。
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有的高真空性能,同时在中真空范围也有的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯一兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。