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复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合；涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压强；在复合分子泵的设计中，处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。
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在泵入口处加挡油环或者挡油阱，可以减少泵壁上凝结油膜的蒸发返油量TSP的工作原理与抽气性能:TSP的结构:吸气面、升华器、控制器工作过程:通电加热钛丝至1100℃直接升华，沉积到冷却的表面上，形成钛膜，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，抽除气体分子。吸附机理:比较复杂，通常认为是物理吸附和化学吸附的综合作用，以化学吸附为主。钛升华器的要求能提供所需的钛升华率；钛升华率易于调节，可连续或间断的提供吸气剂；钛升华器本身出气少或易于去气；有的工作寿命，即有的钛存储量低升华率和高升华率两种钛升华器小功率升华器:升华率每小时几十毫克，吸气剂量为几克到几十克的升华器，工作，结构简单，操作方便，主要作为辅助泵高升华率升华器:升华率每小时几克到几十克，作为主泵使用升华器的加热方式加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等类型
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控制加热交流接触器不复位:修复或更换。封口不平、不紧或不封口:钢盒变形，调整钢盒加热时间与加热温度未调好，调整至合适。加热布上有附着物:用指甲轻轻刮去附着物。加压电磁阀不动作:清洗或更换电磁阀。气囊破损:更换气囊。加压气管破损:修理或更换。不放气:冷却时间继电器坏(电器箱内)更换时间继电器。放气阀线路断路:查找并接好。放气阀粘住或烧坏:拆下清洗或更换。一边加热，一边不加热:不加热一边的包装袋压条与加热装置短路(一般与铜焊片短路)调整铜焊片位置，或休整包装袋袋压条。泵转不抽真空:工作室未盖严，将工作室盖严。电机反转:(注意不要换地线，花线为地线)保险断(指示灯亮):更换相同规格保险。合盖不工作:没有电源，查看有无电源。行程开关未动作:调整行程开关拨片。频繁烧保险:有短路处，查找并排除。电机反转时间过长:任意两相电源线调换安装(地线除外)。
为获得某一工作真空度所需的时间。这时间决定于真空系统抽速的大小，提高抽速可缩短这一时间。大的工作室如宇航模拟装置等，显然需要大的抽速。有时工作室虽然不大，但由于漏放气严重，则真空系统也需要大的抽速，否则大量的漏放气将大大降低真空度，使系统无法工作。