苏州环保型真空机组厂家电话
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,能够选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要明白气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。真空泵排出来的油蒸气对环境的阻碍如何。假如环境不同意有污染,能够选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
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每日检查泵的润滑油颜、油位,若润滑油变脏、乳化、变稀要及时排查原因,更换新油。每日检查后轴承压盖温度,若温度突然升高要及时停车检查。时刻注意电机电流,若电流突然升高,要及时停机进行排查。每日检查冷却水,出水温度是否过高,高于55℃是要注意检查分析原因冷却水供应是否充足。真空泵在首次运行一个月后,无论润滑油是否异常,都要进行更换。被抽气体中含有可凝性气体,出口分离器内会有冷凝液积存,注意及时放,以免停机时倒吸进入泵腔内。
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真空泵的选择选用真空泵时,需要注意下列事项:真空泵的工作压强应该满足真空设备的限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-310-7mmHg,在如此宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在那个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。