鞍山环保型真空机组批发厂家
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有的高真空性能,同时在中真空范围也有的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯一兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。
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锆铝吸气泵的工作条件压强低于10-3Pa时,抽活性气体的工作温度为400℃,体内扩散速率是金属表面维持的吸气速率而不能释放氢;10-3~1Pa范围内,抽活性气体工作温度为750℃——提高温度加速体内扩散,加速清洗吸气剂表面,对H2要求高抽速,工作温度为400℃对纯氢要求大抽速和大吸气量是,工作温度一般为200~300℃对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时,可室温工作高真空或者超高真空系统中,工作温度一般为400℃低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空间的压强大大降低,获得并维持真空状态的抽气装置,是一种储存式捕集抽气,气体并没有排出泵外,一旦冷凝表面温度发生变化,它抽走的气体又会重新释放,破坏真空。应用:外太空模拟;高能物理、等离子体研究;薄膜制备领域;微电子学,尤其是半导体微电子技术中——离子注入,离子刻蚀;现代表面分析仪器中。
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水喷射真空泵的动设备为一台高压水泵,关键部件为喷嘴,所以此泵结构简单,维修频率低。罗茨泵的结构在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的限真空。为了提高泵的限真空度,可将罗茨泵串联使用。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。