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除了以上因素,噪声、价格等其他因素要考虑在内。真空泵的抽速和真空机组的配置不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往由一套真空机组来完成,即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组,中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组,这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,会引起真空机组不能正常工作。
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旋片式真空泵:如图为旋片泵的工作原理示意图。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片式真空泵限压力为0.05~1Pa。主要适合于高真空,洁净空气的工况工作原理与旋片式真空泵相似,但对泵腔没有磨擦,因此稳定性要好于旋片式真空泵
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真空系统还要结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等。要满足这些要求,要从真空泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。同时,这些基本要求,经常是相互联系的。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有专门高的抽速,但不能抽氦,而三型溅射离子泵,(或二型非对称阴溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。