山西水喷射真空机组生产厂家
锅炉内的扩散泵油经电加热沸腾形成蒸汽;油蒸汽经过导流管进入伞形喷嘴,形成超音速蒸汽流由于存在密度梯度,油蒸汽射流上方的被抽气体扩散到蒸汽射流内部,获得动量,被携带到泵壁上油蒸汽在水冷泵壁上冷凝释放出气体,被前级泵抽走冷凝油滴沿泵壁流回锅炉。扩散泵的性能:扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。当泵入口压强很低时,气体从前级通过射流的反扩散会增加,同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得显著。
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在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
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复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合;涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压强;在复合分子泵的设计中,处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体,使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。
在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度二工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。