玉林水喷射真空机组厂家哪家好
半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间,是指稀薄的气体状态,又可分为高真空、高真空、中真空和低真空,分类如下表所示:真空一般是用特制的抽气机获得,它的气体稀薄程度用真空计测定,现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的高真空。真空技术在芯片制造,太阳能电池片制造,光学膜制造、电真空仪器,电子管和其他电子仪器方面均有广泛应用。普通真空泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空;
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旋片式真空机组是以泵为主泵,以旋片真空机组为前级泵的串联而成的。旋片式真空机组选用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片式真空机组在使用时一定压力下的抽气速率低的缺点,并且同时保留了罗茨泵能迅速的工作,优点有比较大抽气速率等。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,能够选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要明白气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。真空泵排出来的油蒸气对环境的阻碍如何。假如环境不同意有污染,能够选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
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油扩散泵的大出口压强取决于一级喷嘴的工作状态,与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及一级喷嘴的结构有关。减少返油的措施返油源于以下四个方面凝结于顶喷嘴表面的油膜蒸发,占总返油量的70%左右;泵壁上凝结油膜的蒸发,与泵壁的冷却状况有关;蒸汽射流碰壁后的散射,与射流强度有关;蒸汽射流中油分子向高真空侧的扩散,与射流温度有关,在顶喷嘴上加挡油帽,可大幅减少顶喷嘴表面油膜的蒸发返油量,且对泵的抽速影响不大——现代扩散泵的标配;