宁德环保型真空机组定制厂家
锆铝吸气泵的工作条件压强低于10-3Pa时,抽活性气体的工作温度为400℃,体内扩散速率是金属表面维持的吸气速率而不能释放氢;10-3~1Pa范围内,抽活性气体工作温度为750℃——提高温度加速体内扩散,加速清洗吸气剂表面,对H2要求高抽速,工作温度为400℃对纯氢要求大抽速和大吸气量是,工作温度一般为200~300℃对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时,可室温工作高真空或者超高真空系统中,工作温度一般为400℃低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空间的压强大大降低,获得并维持真空状态的抽气装置,是一种储存式捕集抽气,气体并没有排出泵外,一旦冷凝表面温度发生变化,它抽走的气体又会重新释放,破坏真空。应用:外太空模拟;高能物理、等离子体研究;薄膜制备领域;微电子学,尤其是半导体微电子技术中——离子注入,离子刻蚀;现代表面分析仪器中。
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工作压力范围宽,在10-1~10-8Pa范围内具有稳定抽速;限压强可达10-9Pa以下;起动时间短,能抽除各种气体和蒸汽;分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用,这将获得更低的限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体,在很宽的压强范围内(10-6~1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了出口压强。
真空系统投入运行前要确认其分离器的水位大于规定值, 其工作液温度小于规定值;而且无真空泵跳闸信号。同时凝结水 系统(凝结水泵启动且运行正常)和循环水系统已经投入;而且 机组的轴封系统也已经投入,否则汽轮机内无法形成真空。
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范围内对的活性气体都有很高的抽气能力锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体;优点:结构简单、体积小、造价低,操作,维修方便,清洁无油,对活性气体,尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点:不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的,其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与锆铝吸气剂长期在高温下工作,会出现“饱和”,吸气率下降;甚至吸气剂表面形成氧化膜,失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时,就需要进行再处理:在℃,使吸气剂表面的固体氧化膜分解,使金属和气体的产物向更深的体内扩散,生出高度活泼的金属表面,同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复多次(~20次),直到的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。